SEM(扫描电子显微镜)分析的主要作用是通过高分辨率成像和成分分析,为材料、生物、工业等领域提供微观尺度的表面及成分信息。其作用具体体现在以下几个方面:
1. 表面形貌观察:能够清晰呈现样品表面的形貌特征(如颗粒分布、裂纹、孔隙等)。
2. 元素成分分析:结合能谱仪(EDS),可对样品表面特定区域的元素组成进行定性和半定量分析。 测定材料的元素组成和分布。这有助于了解材料的化学成分对其性能的影响。
3. 三维结构表征:通过大景深成像,展现样品表面的立体形貌,适用于粗糙或复杂结构的观察。
4. 材料结构研究:分析晶体取向(结合EBSD)、涂层/镀层结构及界面结合状态。
5. 失效分析与质量控制:用于断口分析、污染物检测、工艺缺陷(如不均匀性、微裂纹)的微观溯源。 其作用核心是为微观尺度下的样品表征提供直观、多角度的数据支持,辅助科学研究与工业检测。