在零部件清洁度测试中，颗粒尺寸分布的分析通常遵循以下标准流程：

1. 依据标准与准备
依据 ISO 16232 或 VDA 19 等国际标准，通过特定冲洗方法将零部件表面的污染物颗粒萃取到分析滤膜上，制成待测样本。

2. 常用分析手段

光学显微镜法：使用清洁度分析系统对滤膜进行扫描。系统通过灰度识别捕捉颗粒，自动测量每个颗粒的最大佛瑞德直径（Feret直径），并按照设定的尺寸通道进行分类统计，生成颗粒尺寸分布表和柱状图。

自动SEM/EDS法：对于导电或需区分材质的滤膜，使用自动扫描电镜分析。此法不仅提供尺寸分布，还能同步分析颗粒的元素成分，从而更精确地追溯污染来源。