三坐标测量是一种利用三坐标测量机对工件几何尺寸、形状和位置公差进行高精度三维检测的技术。三坐标测量机的工作原理是基于坐标测量法，将被测物体置于测量机的测量空间内，通过测头接触工件表面获取各测点的空间坐标位置，再经过数学运算求出被测几何量值。

测量时，精密导轨系统控制测头在三维空间内移动，当红宝石测头接触工件表面时系统记录坐标位置，从而得到零件的几何尺寸、形状和位置公差。

三坐标测量机能够测量的形位公差参数非常丰富，包括平面度、圆度、圆柱度、直线度、位置度、同心度、平行度、垂直度、倾斜度、对称度、圆跳动、全跳动以及轮廓度等。现代三坐标测量机还具备复杂曲面测量能力，可对涡轮叶片、模具型腔、航空结构件等自由曲面进行三维形貌重建与分析。其测量精度通常可达微米级。