三坐标测量是一种基于坐标测量原理的高精度三维几何尺寸检测技术。三坐标测量机通过测头系统在空间三个相互垂直的轴向上移动，当红宝石测头接触工件表面时，光栅尺记录该点的空间坐标值。

通过对大量测点坐标的数学计算，可以得到被测工件的各种几何参数。三坐标测量的核心能力包括尺寸测量，如长度、宽度、高度、孔径、轴径等基础尺寸；形位公差测量，涵盖平面度、圆度、圆柱度、直线度、轮廓度、位置度、同心度、平行度、垂直度、倾斜度、对称度、圆跳动、全跳动等几乎所有形位公差项目；复杂曲面测量，通过密集采点可对涡轮叶片、模具型腔等自由曲面进行轮廓评价；

还有逆向工程应用，通过采集点云数据辅助重建CAD模型。现代三坐标测量机的精度通常可达微米级，长度测量误差可控制在若干微米的范围内。三坐标测量适用于金属加工件、塑料件、铸件、冲压件、模具等各类工业产品，是机械制造、汽车、航空航天、精密仪器等领域质量控制的核心设备。